文献类型：期刊文章

作　　者：熊翔[1] 周焱[1] 朱建新[2]

机构地区：[1]湖南科技职业学院机电工程与技术系,湖南长沙410004 [2]中南大学机电工程学院,湖南长沙410083

出　　处：《润滑与密封》

年　　份：2008

卷　　号：33

期　　号：6

起止页码：63-66

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于M-B分形磨损模型,建立微机电系统(MEMS)表面磨损率与分形维数之间的关系,对MEMS表面的磨损规律与表面特性进行相关分析。结果表明,分形维数对MEMS表面磨损率的影响具有一定的规律性,当分形维数在某一范围时,磨损率随着分形维数的减小而迅速增大;当分形维数为1.5时,磨损率达到最小值。当分形维数一定时,磨损率随着尺度系数、磨损概率常数的增大而增加,随着MEMS材料性能参数的增大而减小。当其它影响参数保持一定时,磨损率随着MEMS表面接触面积的增大而增加。

关 键 词：微机电系统(MEMS)  磨损 分形 磨损率

分 类 号：TH117.1]