文献类型：期刊文章

作　　者：张昱[1] 潘武[1]

机构地区：[1]重庆邮电学院微光机电系统研究所,重庆400065

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：重庆市教委科学技术研究项目(No.020508);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36)

年　　份：2005

卷　　号：13

期　　号：z1

起止页码：81-85

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压。微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略。利用MATLAB 7.0进行仿真分析,获得微镜驱动电压与扭梁长度的关系曲线。利用ANSYS 8.0获得了折叠弹簧式微镜结构的模态分析和谐响应分析结果,其工作模态频率约为1.77 kHz,远低于其他非工作模态频率。微镜结构的谐振频率约为1.8 kHz,能满足MEMS光开关对开关响应时间的要求。

关 键 词：光开关 微镜  驱动电压 折叠弹簧  有限元分析

分 类 号：TN253]