文献类型：期刊文章

作　　者：周洪波[1] 李刚[1] 张华[1] 孙晓娜[1] 姚源[1] 金庆辉[1] 赵建龙[1] 任秋实[2]

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所 [2]上海交通大学激光与生物医学研究所,上海200030

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家973计划资助项目(No.2005CB724305);上海市科委资助项目(No.06XD14037No.0652nm016);上海-应用材料研究与发展基金资助项目(No.06SA01)

年　　份：2007

卷　　号：15

期　　号：7

起止页码：1056-1063

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放。整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积。测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期。

关 键 词：柔性微电极 神经假体 聚酰亚胺 凹槽结构  牺牲层

分 类 号：TP212.3] R338]