文献类型：会议

作　　者：徐天宁 卢忠 隋成华 吴惠桢

作者单位：浙江工业大学之江学院理学系,杭州 310024 浙江大学物理系,现代光学仪器国家重点实验室,杭州 310027 浙江工业大学之江学院理学系,杭州 310024 浙江大学物理系,现代光学仪器国家重点实验室,杭州 310027

会议文献：第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议论文集

会议名称：第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议日期：20121107

会议地点：开封

主办单位：中国电子学会

出版日期：20121107

语　　种：中文

摘　　要：利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO∶Al薄膜结构，研究了该结构的发光特性。结果表明，在ZnO：Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光，同时在475 nm附近产生蓝光峰。通过在Al岛薄膜和ZnO∶Al薄膜之间引入一层5nm的Ta205绝缘层可以使ZnO∶Al薄膜的带边荧光和蓝光显著增强，并随着Ta2.05绝缘层厚度的增大而减弱。而且，通过对Al/ZnO：Al样品进行退火处理可以使蓝光峰增强83倍。基于局域表面等离子体共振理论，计算了Al/ZnO∶Al纳米结构的光学散射和吸收截面曲线。计算结果较好地解释了实验观察到的荧光增强现象。

关 键 词：半导体薄膜 金属氧化物 局域表面等离子体  荧光增强效应

分 类 号：TN304.21] TN304.055