会议论文详细信息
光学材料亚表面损伤常用的测量方法研究
文献类型：会议
作者单位：天津军事交通学院,天津 300161 天津天保工程咨询有限公司,天津 300461
会议文献：第15届全国机械设计年会论文集
会议名称：第15届全国机械设计年会
会议日期：20090800
会议地点：北京
主办单位：中国机械工程学会
出版日期：20090800
语 种：中文
摘 要：光学材料在加工的过程中会引入亚表面损伤，对材料的使用性能造成很大的影响。因此，亚表面损伤的检测就必不可少。本文主要就亚表面损伤常见的测量方法的测量原理和特点进行了比较分析和研究。
关 键 词：亚表面损伤 蚀刻速率 角度抛光 磁流变抛光 激光散射法 X射线衍射法 光学材料
分 类 号：TB342[材料类]
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