文献类型：会议

作　　者：张志海 史成武 孙嵩泉 吴玉程

作者单位：合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009 合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009 蚌埠市建设投资有限公司博士后工作站,安徽,蚌埠,233000 蚌埠市建设投资有限公司博士后工作站,安徽,蚌埠,233000 蚌埠市普乐新能源有限公司,安徽,蚌埠,233030

会议文献：全国功能陶瓷薄膜和涂层材料研讨会论文集

会议名称：全国功能陶瓷薄膜和涂层材料研讨会

会议日期：20091013

会议地点：北京

主办单位：中国硅酸盐学会;中国能源研究会

出版日期：20091013

语　　种：中文

摘　　要：本文以四氯化锡和氟化铵为原料,异丙醇和水为溶剂,采用喷雾热解法,在载玻片上制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜(fluorine-doped tin oxide,FTO)，研究了网氯化锡浓度、氟化铵浓度、双氧水浓度、异丙醇与水的体积比对FTO薄膜的透光率和方块电阻的影响，运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪分别对FTO薄膜进行了表征。结果表明：在喷雾热解液中加入少量的H2O2(0.05mol/L)可明显提高FTO薄膜在可见光区的透光率,而不影响其方块电阻;当喷雾热解液组成为0.8mol/L SnCl4,0.1mol/L NH4F,0.05mol/L H2O2,异丙醇与水的体积比为8:2,衬底温度为500℃,喷涂100次时,所得FTO薄膜在可见光区的平均透光率为84[％],方块电阻为15Ω/口,且FTO薄膜平整致密、二氧化锡晶粒均匀。

关 键 词：导电薄膜 二氧化锡 氟元素掺杂  薄膜电阻

分 类 号：TB43] O484.42]