会议论文详细信息
TeO2/IDT/ZnO(1120)/Si(100)多层薄膜结构声表面波传播及敏感特性数值模拟
文献类型：会议
作者单位：深圳大学物理与能源学院,深圳市先进薄膜与应用重点实验室
会议文献：TFC’17 全国薄膜技术学术研讨会论文集
会议名称：TFC’17 全国薄膜技术学术研讨会
会议日期：20170819
会议地点：合肥
主办单位：中国真空学会
出版日期：20170819
语 种：中文
分 类 号：TS6[轻工类] TQ3]
参考文献：
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引证文献：
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