会议论文详细信息
基于微波等离子体化学气相淀积方法的多片单晶金刚石的同时扩大生长研究
文献类型：会议
作者单位：西安电子科技大学微电子学院,宽带隙半导体技术国防重点学科实验室,西安710071
会议文献：第十八届全国晶体生长与材料学术会议暨第一届全国晶体生长暑期学校论文集
会议名称：第十八届全国晶体生长与材料学术会议暨第一届全国晶体生长暑期学校
会议日期：20180702
会议地点：西安
主办单位：中国硅酸盐学会
出版日期：20180702
语 种：中文
摘 要：本文报道了基于微波等离子体化学气相淀积设备，实现了七片单晶金刚石的同时扩大生长，并且有效解决了生长过程中在金刚石边缘出现多晶的问题。在生长过程中晶种彼此分开放置，并且采用了“pocket”型的衬底托，而且在整个生长周期内，衬底的温度和微波等离子体的功率保持不变，这些因素综合实现了多片单晶金刚石的同时扩大生长。
分 类 号：TN3] TP2]
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