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Knudsen泵内气体传输特性的研究
文献类型：会议
作者单位：东北大学机械工程与自动化学院过程装备与环境工程研究所,辽宁沈阳 110819
会议文献：中国真空学会2018学术年会论文集
会议名称：中国真空学会2018学术年会
会议日期：20180816
会议地点：长春
主办单位：中国真空学会
出版日期：20180816
语 种：中文
摘 要：微机电系统(MEMS)是一门多学科交叉融合的研究热点学科，其广泛地应用于信息、电子、通信、军事、生物医疗、航天航空等领域，其中，对MEMS中流体的驱动与控制是研究微流体设备时必须面对的问题，而微流体设备的驱动控制引擎——微泵是制约和推动微流体设备发展的核心.knudsen泵凭借着其无运动部件、结构简单、使用寿命长、易于批量制造、易扩展、能量来源广泛、低能耗等优点，同比于其它微泵，具有更为广阔的应用前景.
关 键 词：MEMS DSMC Knudsen微泵 热蠕流 气体分子模型
分 类 号：G64] F83[教育学类]
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