文献类型：会议

作　　者：万尤宝 张建新 袁国祥 杨培志 杨辉

作者单位：浙江大学材料与化工学院,浙江,杭州,300200 嘉兴学院先进材料研究所,浙江,嘉兴,314001 嘉兴学院先进材料研究所,浙江,嘉兴,314001 云南昆明物理研究所,云南,昆明,650223 浙江大学材料与化工学院,浙江,杭州,300200

会议文献：2006第五届中国（国际）纳米科技西安研讨会论文集

会议名称：2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会

会议日期：20060901

会议地点：西安

主办单位：中国微纳米技术学会;中国电子学会;陕西省电子学会

出版日期：20060901

语　　种：中文

摘　　要：在LaAlO3(001)、MgO(001)、SrTiO3(001)衬底以及SrTiO3(001)/PZT(001)种膜上用液相外延方法生长了PZNT薄膜.生长结果表明:在LaAlO3(001)基片PZNT晶粒以三维岛状自发生长,薄膜中有大量的焦绿石异相;在MgO(001)和SrTiO3(001)衬底上,为三维岛状异质外延生长,薄膜中焦绿石异相几乎消失;引入[001]取向的PZT种膜后,岛状三维生长变为二维生长,显著改善了外延膜的质量,获得了完整的PZNT膜.分析了衬底取向对紧邻层纳米尺寸范围的晶粒形成,薄膜晶粒的发育,克服薄膜中异相形成等的影响,总结了获得完整PZNT薄膜的生长条件.

关 键 词：铁电薄膜 纳米晶粒 种膜  液相外延 受控生长  

分 类 号：TN304.9] TN304.055[材料类] TB383