文献类型：会议

作　　者：高子健 赵鹏飞 司黎明 刘埇 吕昕

作者单位：北京理工大学信息与电子学院电子工程系,毫米波与太赫兹技术北京市重点实验室

基　　金：“兵器预研支持基金”项目编号:62201070103;“中国航天科技集团公司卫星应用研究院创新基金”项目批准号:2012-1692

会议文献：2013年全国微波毫米波会议论文集

会议名称：2013年全国微波毫米波会议

会议日期：20130521

会议地点：中国重庆

主办单位：中国电子学会（Chinese Institute of Electronics）

出版单位：电子工业出版社（PUBLISHINGHOUSEOF...

出版日期：20130500

学会名称：中国电子学会微波分会

语　　种：中文

摘　　要：本文提出了一种基于硅基片MEMS工艺,工作于500GHz的低剖面角锥喇叭天线。通过加载平面波纹开槽结构,使得普通500GHz角锥喇叭天线受加工工艺限制,增益低、副瓣高的问题得到改善。通过HFSS软件仿真对波纹开槽结构对天线的增益和副瓣电平的改善效果进行了分析。对于天线的整体结构,给出了较为详尽的湿法刻蚀与干法刻蚀相结合的MEMS工艺实现方法,使得太赫兹频段天线结构的精度要求得以满足。

关 键 词：太赫兹 MEMS 角锥喇叭 平面波纹  

分 类 号：TN823]