文献类型：会议

作　　者：高益庆 金麒 罗宁宁

作者单位：南昌航空工业学院自动化学院 南昌航空工业学院自动化学院 南昌航空工业学院自动化学院

会议文献：中国光学学会2006年学术大会论文摘要集

会议名称：中国光学学会2006年学术大会

会议日期：20060900

会议地点：中国广东广州

主办单位：中国光学学会

出版日期：20060900

学会名称：中国光学学会

语　　种：中文

摘　　要：衍射微透镜已广泛用于光学系统中来消色差和单色象差,其中包括最常用的菲涅耳波带透镜及一般的具有旋转对称相位结构的衍射微透镜。基于数字化灰度掩模技术,本文提出了基于数字微镜装置(Digital Micromirror Device,DMD)的旋转掩模曝光技术制作衍射微透镜的新方法。数字旋转掩模技术是指利用计算机程序控制掩模图形旋转,通过控制图形的旋转速度和曝光时间可实现曝光能量的积累,从而得到所需的曝光量分布。设具有任意形状的二元掩模,其形状函数为θ(r),其中θ为掩模函数曲线的极角,r为极径。且在θ方向成周期性分布,周期大小为α。如果掩模以角速度ω沿θ方向匀速旋转,则整周期旋转时,掩模旋转后对应面上的每一点曝光能量积累函数为C·P·[α-θ(r)]／ω。C为常系数,P为曝光强度。根据器件的掩模分布形状函数,得出掩模旋转后对应面上的每一点的曝光能量积累函数,用Matlab软件编程,仿真出所设计的衍射微透镜曝光二维和三维形貌,验证了该方法的可行性。

关 键 词：微透镜 掩模技术  形状函数  

分 类 号：TN25]