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活性屏离子渗氮过程中的粒子形貌与结构研究
文献类型：会议
作者单位：青岛科技大学等离子体表面技术研究所 青岛科技大学等离子体表面技术研究所 青岛科技大学等离子体表面技术研究所
会议文献：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
会议名称：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
会议日期：20060800
会议地点：中国甘肃兰州
主办单位：中国机械工程学会表面工程分会
出版日期：20060800
学会名称：中国机械工程学会
语 种：中文
摘 要：活性屏离子渗氮是依靠从活性屏上溅射下来的活性粒子沉积在工件表面,利用这些粒子进行渗氮处理。通过对不同条件下收集到的粒子分析研究发现,活性屏离子渗氮是接着溅射-吸附-脱附-扩散等步骤分阶段进行,粒子在活性屏离子渗氮过程中只是起着渗氮载体的作用。
关 键 词：活性屏离子渗氮 溅射粒子 “吸附-脱附”模型
分 类 号：TG156.82]
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同被引文献：
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