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会议论文详细信息

短脉冲激光诱导等离子体辅助微加工/沉积技术       

文献类型:会议

作  者:卢希钊 江开勇

作者单位:华侨大学机电及自动化学院福建省特种能场制造重点实验室

基  金:国家自然科学基金资助项目(51475173);国家自然科学基金资助项目(51475174)

会议文献:第17届全国特种加工学术会议论文集(下册)

会议名称:第17届全国特种加工学术会议

会议日期:20171117

会议地点:中国广东广州

主办单位:中国机械工程学会特种加工分会;广东工业大学

出版单位:中国机械工程学会特种加工分会

出版日期:20171100

学会名称:中国机械工程学会

语  种:中文

摘  要:激光诱导等离子体辅助加工技术是一种利用激光间接作用于硬脆的待加工透明体上,加工微结构、沉积的非接触式加工方式。该蚀刻/沉积方式可在双面抛光的透明体上,利用激光诱导产生的等离子体/离子团聚进行微加工、蚀刻、金属沉积。其中,加工、蚀刻的横截面形状(蚀刻线宽、深度)主要取决于激光参数:脉冲宽度、激光光强、重复频率等,以及透明物质与金属靶(本研究为铜靶)之间的距离。当激光重复频率降低的时候,激光穿透透明物质并获得相应的金属离子沉积,具有一定的电导率。同样地,电导率受激光光强,重复频率,透明物质基底与等离子体发生源(目标)之间的距离影响。本研究主要以蓝宝石为例讲述当激光在蓝宝石表面加工微结构时,刻蚀的线宽和深度主要受调节激光光强,重复频率,扫描速度等,以及蓝宝石与铜块之间的距离的影响规律。通过正确控制激光加工参数,诸如激光光强、重复频率、扫描速度、蓝宝石与铜块之间的距离,调节单晶蓝宝石上沉积金属的电阻率。

关 键 词:激光诱导 等离子体辅助加工  单晶蓝宝石  蚀刻 沉积  

分 类 号:TN249] O786]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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