会议论文详细信息
并五苯薄膜的性能表征
文献类型：会议
作者单位：兰州大学物理科学与技术学院微电子研究所
基 金：国家自然科学基金(No．60676033)
会议文献：第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集
会议名称：第十六届全国半导体物理学术会议
会议日期：20070900
会议地点：中国甘肃兰州
主办单位：兰州大学;中国物理学会半导体物理专业委员会;中国科学院半导体研究所
出版日期：20070900
学会名称：中国物理学会
语 种：中文
摘 要：并五苯(pentacene)是一种有机小分子半导体材料,因其具有较高的迁移率,被广泛应用于场效应晶体管的活动层。我们以热氧化硅片为衬底,用溶液溶解和真空蒸镀两种方法制备有机半导体材料并五苯薄膜。以二氯苯为溶剂溶解并五苯,在60℃时并五苯完全溶解,分别在60℃,100℃,
关 键 词：并五苯 场效应晶体管 迁移率 薄膜 AFM XRD
分 类 号：O484.4]
参考文献：
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引证文献：
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同被引文献：
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