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氦质谱检漏仪校准方法探讨
文献类型：会议
作者单位：华南国家计量测试中心
会议文献：中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第六届年会论文摘要集
会议名称：中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第六届年会
会议日期：20021100
会议地点：中国广西桂林
出版日期：20021100
语 种：中文
摘 要：氦质谱检漏仪本质上是一种应用质谱仪原理的气体分析仪,通过调谐仪器的手段,使氦束仅仅打击一个离子收集极,由离于束产生的电流被放大,并且它的大小在吸入试样中是氦气分压力之量度。因氦质谱检漏仪种类繁多,无统一的技术指标,一般按各自产品说明书所定的准确度指标来校准,全国计量部门尚无统一的规范,我单位进行了尝试,下面做简略的说明。
关 键 词：氦质谱检漏仪 标准漏孔 校准方法
分 类 号：TB774]
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