会议论文详细信息
原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学性能的影响
文献类型：会议
作者单位：兰州物理研究所真空低温技术与物理国家重点实验室
会议文献：中国真空学会2008年学术年会论文摘要集
会议名称：中国真空学会2008年学术年会
会议日期：20081000
会议地点：中国云南昆明
主办单位：中国真空学会
出版日期：20081000
学会名称：中国真空学会
语 种：中文
摘 要：氧化锌材料作为宽禁带半导体材料,在半导体照明、半导体光电器件和紫外激光器方面有很大的应用前景。其中,制备出高质量的氧化锌薄膜是其得以在光电器件上应用的关键。氧化锌薄膜生长的关键问题是其组份为非化学剂量比。研究人员采用了多种方法提高氧化锌薄膜的质量,尤其是各种后处理工艺可以显著提高薄膜质量,如退火、氧等离子体处理等方法。但尚未见文献报道采用原子氧对氧化锌薄膜改性的研究。
分 类 号：TB383.2[材料类]
参考文献：
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同被引文献：
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