科技成果详细信息
PT-8微机化压力传感器
文献类型：成果
完成单位：复旦大学微电子学研究所
项目年度编号：880456
鉴定部门：上海市科委
公布年份：0
成果类别：应用技术
应用行业：输配电及控制设备制造
联系单位：复旦大学微电子学研究所
语 种：中文
成果简介：该传感器采用先进的横向压阻设计方法，应用精密的微机械加工制造技术和新的侧向承压封装结构，使传感器尺寸可缩小到直径φ１．８ｍｍ，长度１０ｍｍ，创国内压力传感器微小型化的新水平。经实用测试表明：该传感器静、动态性能优良，稳定性好，其综合性能达到国外八十年代初同类产品的先进水平。传感器的研制成功为生物医学研究和工业检测等提供了得力手段。
关 键 词：封装工艺 微型 金属切削 设计 传感器
分 类 号：TM5]
参考文献：
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引证文献：
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