文献类型：成果

完成单位：深圳市科技和信息局

项目年度编号：hg07020760

公布年份：2007

应用行业：电子器件制造

联系单位：深圳市科技和信息局

语　　种：中文

成果简介：该课题的目标是重点突破氮化镓（GaN）用大尺寸（＞Φ2″）蓝宝石衬底材料制备技术（Epi-ready）和产业化关键技术，推出具有国际市场竞争力的蓝宝石衬底材料系列产品，建立具有自主知识产权的蓝宝石晶体材料研究、开发和产业化基地。该项目采用氢气氛中感应加热钼钳埚提拉法生长Φ2～3英寸外延用蓝宝石衬底晶体，解决了长期以来钼钳埚生长技术由于“钼衣”问题而不能产业化的难题，这一创新大大降低了蓝宝石基片的成本，具有重大技术经济意义。该项目第二个创新点在于首次使用电子束技术提纯Al_2O_3材料达到PPM级，保证低“杂质效应”优质蓝宝石的产品质量。第三个创新点是自主开发成功计算机自控上称重晶体生长技术，解决了晶体生长等径自控问题，明显提高了产品成本成品率。

关 键 词：大尺寸晶体  蓝宝石衬底晶体  产业化生产  

分 类 号：TN3]