标准详细信息
硅片表面光泽度的测试方法
文献类型：标准
标准类型：国家标准
标 准 号：GB/T 42789-2023
标准状态：现行
发布日期：20230806
实施试行日期：20240301
国 别：CN
语 种：中文
摘 要：本文件描述了采用光反射法以 20°、60°或 85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
国际标准分类号：77;77.040
参考文献：
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引证文献：
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同被引文献：
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