文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200710007967.2

申 请 日：20070201

发 明 人：乔基姆·鲍曼 克里斯琴·戴维 马丁·恩格尔哈特 乔尔格·弗罗伊登伯格 埃克哈德·亨普尔 马丁·霍海塞尔 托马斯·默特尔迈耶 弗朗兹·法伊弗 斯蒂芬·波普斯库 曼弗雷德·舒斯特

申 请 人：西门子公司 保罗谢勒研究所

申请人地址：德国慕尼黑

公 开 日：20111019

公 开 号：CN101013613B

代 理 人：邵亚丽;李晓舒

代理机构：11105 北京市柳沈律师事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及一种用于产生检查对象(7，P)的投影或断层造影的相位对比照片的X射线设备(1)的焦点-检测器装置(F，D)的X射线光学透射光栅(G<Sub>x</Sub>)，其具有大量的周期地布设在至少一个晶片的至少一个表面上的栅条(S)和栅空(L)，其中，所述X射线光学透射光栅(G<Sub>x</Sub>)由至少两个沿射线方向直接相继地布设的子光栅(G<Sub>x1</Sub>，G<Sub>x2</Sub>)组成。

主 权 项：1.一种用于产生检查对象(7，P)的投影或断层造影的相位对比照片的X射线设备(1)的焦点-检测器装置(F，D)的X射线光学透射光栅(G_x)，其具有大量的周期地布设在至少一个晶片的至少一个表面上的栅条(S)和栅空(L)，其特征在于，所述X射线光学透射光栅(G_x)由至少两个沿射线方向直接相继地布设的子光栅(G_x1，G_x2)组成，其中，1.1.透射的X射线辐射的射线分布形状成扇形或圆锥形，1.2.所述沿射线方向相继布设的子光栅(G_x1，G_x2，G_x3)具有不同的光栅周期(g_x1，g_x2，g_x3)，其中，1.3.所述光栅周期(g_x1，g_x2，g_x3)从至少一个子光栅(G_x1)到至少一个后续的子光栅(G_x2)这样增大以及所述子光栅(G_x1，G_x2，G_x3)这样相互对准地布设，即，使得射线束的射线(S_i)或者只穿过栅空(L)或者只穿过栅条(S)。

关 键 词：光学透射光栅  检测器装置  光栅 射线方向  相位对比 晶片  栅条  断层 投影  焦点  检查  

IPC专利分类号：G21K1/06(20060101);A61B6/00(20060101);G01N23/04(20060101);G01T7/00(20060101)