文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200810017967.5

申 请 日：20080415

发 明 人：王晓刚

申 请 人：陕西西科博尔科技有限责任公司

申请人地址：710054 陕西省西安市雁塔路南段84号

公 开 日：20080827

公 开 号：CN101251339A

代 理 人：李子安

代理机构：61213 西安创知专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及一种SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法，所述气体收集系统包括放置在SiC合成炉之上的用于气体收集的收集装置，用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在SiC合成炉炉体四周与收集装置接触形成封闭空间的密封连接装置，密封连接装置和/或收集装置上设置有气体出口。SiC合成炉气体收集方法包括以下步骤：原料混合，装炉；收集装置到位，密封；空气置换；生产碳化硅；CO气体收集；停电冷却；延时收集气体；炉气置换；收集装置移出。采用该系统和方法有利于SiC合成炉气体的持续稳定回收，该系统占用空间小，对生产场地要求较低，可同时满足露天和室内生产要求。

主 权 项：1.一种SiC合成炉气体收集系统，其特征在于：所述气体收集系统包括放置在SiC合成炉之上的用于气体收集的收集装置，设置在SiC合成炉两端的用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在SiC合成炉炉体四周与收集装置接触形成封闭空间的密封连接装置，密封连接装置和/或收集装置上设置有气体出口。

关 键 词：收集装置  合成炉 密封连接装置  气体收集方法  气体收集系统  气体收集 系统占用空间  分析装置 封闭空间  空气置换  气体出口  泄压装置  行走机构  碳化硅  离合  炉气 炉体  延时  装炉  密封 冷却  停电  置换  均衡  露天 回收  检测  接触  

IPC专利分类号：F27D17/00(20060101);C01B31/36(20060101)