文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200810025294.8

申 请 日：20080430

发 明 人：曾金穗 曾文煌 薛宝林

申 请 人：扬州华夏集成光电有限公司

申请人地址：225009 江苏省扬州市扬子江南路518号

公 开 日：20081001

公 开 号：CN101276865A

代 理 人：张荣亮

代理机构：扬州苏中专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及一种发光二极管制作工艺，属于LED技术领域，本发明为克服现有铝电极LED制程中所存在若干缺点，主要特点是以氧化铟锡N型导电物质做发光二级管的N电极，无需合金便与外延片具有较好接触，这样就使得可以在做完厚铝开图光刻形成P电极后，再对衬底研磨减薄做N电极，避开了原先做N电极前需合金而使铝硬化的问题，本发明一方面能缩短四元LED制作的工时，节约成本，另一方面可减少制程中的破片问题，便于企业生产，有利于提高产品质量和生产效率，降低生产成本和提高企业经济效益。

主 权 项：1、一种发光二极管制作工艺，其结构依次为P电极、窗口层、发光区、衬底和N电极，制作工艺首先在包括窗口层、发光区和衬底的外延片的窗口层上做层底金合金，其特征是所述的制作工艺还依次包括在底金合金上镀厚铝，开图光刻形成P电极，然后研磨减薄已形成P电极后的外延片的衬底，最后在衬底上蒸镀N型导电物质形成N电极。

关 键 词：电极  制程  合金  企业经济效益  发光二极管 发光二级管 导电物质  节约成本  企业生产  研磨减薄  氧化铟锡 外延片 衬底  厚铝  图光  工时 生产成本  硬化  接触  

IPC专利分类号：H01L33/00(20060101)