专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:发明专利
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN200780002347.8
申 请 日:20070111
申 请 人:爱鹿克株式会社 国立大学法人佐贺大学
申请人地址:日本大阪府
公 开 日:20120627
公 开 号:CN101370527B
代 理 人:李贵亮
代理机构:11021 中科专利商标代理有限责任公司
语 种:中文
摘 要:本发明提供一种消毒方法。将被消毒体配置于真空容器内并将真空容器内减压(S100)。判断是否到达了3Pa(S102),如果已经到达,则将配置于真空容器与真空泵之间的断流阀关闭(S104)。向电极供给高频功率(S106),持续0.1秒钟地向真空容器内导入氧气(S108),其后用3秒钟将压力保持恒定(S110),判断真空容器内是否到达10kPa(S112),重复进行S108~S112,直至变为10kPa。到达了10kPa后,将断流阀打开而将真空容器内减压(S114),停止高频功率的供给(S116)。重复S100~S118,经过90分钟后,将真空容器内恢复到大气压(S120)。
主 权 项:1.一种消毒方法,其中,将规定的被消毒对象物收纳于真空容器内,将上述真空容器内减压至规定压力,使规定的气体流入上述真空容器内,在上述真空容器内生成具有消毒作用的等离子体,一边调整上述真空容器内的压力,一边使用上述所生成的等离子体将上述规定的被消毒对象物消毒,其特征是,在调整上述真空容器内的压力时,该压力进行如下的调整,即,在直至到达规定的压力之前的加压过程中,每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压。
关 键 词:真空容器 高频功率 减压 断流阀 消毒方法 重复进行 真空泵 电极 导入 氧气 消毒 停止
IPC专利分类号:A61L2/14(20060101)
参考文献:
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引证文献:
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同被引文献:
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