文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200910031353.7

申 请 日：20090430

发 明 人：赵裕兴 胡剑

申 请 人：苏州德龙激光有限公司 江阴德飞激光设备有限公司

申请人地址：215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号

公 开 日：20091104

公 开 号：CN101570040A

代 理 人：陈忠辉

代理机构：32102 南京苏科专利代理有限责任公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及应用于LED激光切割设备的X－Y－θ运动平台，包括X－Y轴和θ轴，X－Y轴和θ轴均呈中空结构，X－Y轴包含X轴传送单元和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，X－Y轴布置在底板上。应用于LED激光切割设备中X－Y－θ运动平台实现了自身惯量小、启动和停止时间短、微米级定位、切割道秒级角度调整功能，满足晶圆切割量产的要求。

主 权 项：1.应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，其特征在于：包括X-Y轴和θ轴，所述X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送单元和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的压电陶瓷电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，由θ轴转轴驱动真空吸附模块作旋转运动，由X-Y轴驱动真空吸附模块沿X、Y方向作两个自由度运动；所述X-Y轴布置在底板上，在底板的底部安装有下CCD影像系统，下CCD影像系统透过X-Y轴和θ轴的中空结构与真空吸附模块相对。

关 键 词：传送单元  转轴  轴板  激光切割设备  运动平台  真空吸附  直线马达 角度调整功能  底板  吸附平面  中空结构  切割量  微米级 惯量 晶圆 秒级  切割  旋转  电机  停止  

IPC专利分类号：B28D5/04(20060101);B28D7/04(20060101);B23K26/38(20060101)