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专利详细信息

可拆式铜蒸气激光器的气体纯化方法和装置       

文献类型:专利

专利类型:发明专利

是否失效:

是否授权:

申 请 号:CN200910047893.4

申 请 日:20090320

发 明 人:雷建求 叶韧 胡谷雨 姜阅清 陶永祥

申 请 人:上海大恒光学精密机械有限公司

申请人地址:201800 上海市嘉定区嘉定镇清河路390号

公 开 日:20090812

公 开 号:CN101505031A

代 理 人:张泽纯

代理机构:31213 上海新天专利代理有限公司

语  种:中文

摘  要:一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理方法和装置,该方法是在可拆式铜蒸气激光器的放电回路设置电流的取样装置,在可拆式铜蒸气激光器工作时,取样放电回路的工作电流I,并与可拆式铜蒸气激光器稳定工作区I<Sub>欠</Sub><I<I<Sub>过</Sub>的工作电流进行比较,当I<I<Sub>欠</Sub>或I>I<Sub>过</Sub>时,通过可编程程序控制器驱动可拆式铜蒸气激光器循环地运行“抽气-停止抽气-充氖气-加高压-放电-高压停”进行气体纯化处理,直到放电回路的工作电流I的满足关系式I<Sub>欠</Sub><I<I<Sub>过</Sub>时,式中:I<Sub>欠</Sub>是欠流电流,I<Sub>过</Sub>是过流电流,可拆式铜蒸气激光器自动地进入稳定的工作状态。本发明使可拆式铜蒸气激光器能自动地进行气体纯化处理并进入稳定的工作状态。

主 权 项:1、一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理方法,其特征在于:在可拆式铜蒸气激光器的放电回路设置电流的取样装置,在可拆式铜蒸气激光器工作时,取样放电回路的工作电流I,并与可拆式铜蒸气激光器稳定工作区I<I<I的工作电流进行比较,当I<I或I>I时,通过可编程程序控制器驱动可拆式铜蒸气激光器循环地运行“抽气—停止抽气—充氖气—加高压—放电—高压停”进行气体纯化处理,直到放电回路的工作电流I的满足下列关系式时,可拆式铜蒸气激光器自动地进入稳定的工作状态:I<I<I式中:I是欠流电流,I是过流电流。

关 键 词:蒸气激光器  拆式  放电回路 工作电流 气体纯化  电流 抽气 编程程序  取样装置  稳定工作  控制器  放电 过流 氖气  取样  停止  

IPC专利分类号:H01S3/227(20060101);G05B19/04(20060101)

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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