文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201010168264.X

申 请 日：20100511

发 明 人：王毅 陈晓华

申 请 人：扬州扬杰电子科技有限公司

申请人地址：225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期

公 开 日：20100929

公 开 号：CN101845638A

代 理 人：奚衡宝

代理机构：11278 北京连和连知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：一种二极管芯片的清洗工艺。涉及清洗工艺中所用清洗液配方的改进。能进一步减少芯片侧表面金属离子，从而避免芯片在工作中会出现“爬电”现象。依次包括混酸洗、双磷洗和氨洗，氨洗时的清洗液包括氨水、水和双氧水，它们的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶双氧水0.15-0.3份。与以往的配方相比，本发明在氨洗液中加入了双氧水，在充分混合的情况下通过下酸管道下到酸洗盘上，酸液没过上钉头(相当于芯片上端面的夹具部件)使得反应充分，进而能使芯片侧表面的金属杂质去除得更加彻底，材料在高温下使用更加稳定，降低由于表面漏电的偏大而导致材料电性的不稳定。

主 权 项：1.一种二极管芯片的清洗工艺，依次包括混酸洗、双磷洗和氨洗，其特征在于，所述氨洗时的清洗液包括氨水、水和双氧水，它们的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶双氧水0.15-0.3份。

关 键 词：双氧水  芯片  氨水  清洗工艺 二极管芯片 清洗液配方  表面漏电  夹具部件  金属离子  金属杂质 清洗液 上端  电性  钉头  混酸 爬电 双磷  酸洗  酸液  洗液  配方  

IPC专利分类号：C23G1/02(20060101);C23G1/14(20060101);H01L21/00(20060101)