文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210262289.5

申 请 日：20120726

发 明 人：李顺光 李夏 陈伟 胡丽丽

申 请 人：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海大恒光学精密机械有限公司

申请人地址：201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱

公 开 日：20160210

公 开 号：CN102768202B

代 理 人：张泽纯

代理机构：31213 上海新天专利代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：一种包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射的检测装置及检测方法，检测装置包括第一激光光源、光束整形透镜组、分光镜、第一全反镜、光束定位系统、待测样品、激光强度探测器、剩余反射探测器和数据处理系统，上述元部件的位置关系如下：沿第一激光光源的激光输出方向依次是光束整形透镜组和分光镜，该分光镜将入射光分为透射光和反射光，在该反射光方向是所述的激光强度探测器，在所述的透射光方向依次是所述的第一全反镜、光束定位系统、待测样品和剩余反射探测器，所述的激光强度探测器和剩余反射探测器的输出端与所述的数据处理系统的输入端相连。本发明可根据实际情况需要测定不同入射角度和不同位置的包边剩余反射，测量精度高。

主 权 项：1.一种包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射的检测装置，其特征在于该装置包括第一激光光源(1)、光束整形透镜组(4)、分光镜(5)、第一全反镜(7)、光束定位系统(8)、待测样品(9)、激光强度探测器(6)、剩余反射探测器(10)和数据处理系统(11)，上述元部件的位置关系如下：沿第一激光光源(1)的激光输出方向依次是光束整形透镜组(4)和分光镜(5)，该分光镜(5)将入射光分为透射光和反射光，在该反射光方向是所述的激光强度探测器(6)，在所述的透射光方向依次是所述的第一全反镜(7)、光束定位系统(8)、待测样品(9)和剩余反射探测器(10)，所述的激光强度探测器(6)和剩余反射探测器(10)的输出端与所述的数据处理系统(11)的输入端相连。

关 键 词：探测器  剩余反射  激光强度 分光镜  包边 光束定位系统  光束整形透镜  数据处理系统  待测样品  激光光源  检测装置  全反镜  大尺寸钕玻璃  激光输出方向  反射光方向  透射光方向  测量精度  检测方法  入射角度  输出端与  反射光 入射光  输入端  透射光 元部件  一种  测定  相连  需要  

IPC专利分类号：G01N21/55(20140101)