文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110351343.9

申 请 日：20111109

发 明 人：吴英 罗彪 江刺正喜 刘宇 欧益宏 向毅 柏俊杰 周兆英

申 请 人：重庆科技学院

申请人地址：401331 重庆市沙坪坝区虎溪大学城重庆科技学院电气信息工程学院

公 开 日：20131016

公 开 号：CN102507975B

代 理 人：张景根

代理机构：50213 重庆中之信知识产权代理事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种二轴角速度传感器，其特征在于：包括安装有永磁体的底座，该底座的上方设置有质量块，该质量块经连接机构与底座相连，该质量块上布置有感应线圈，该感应线圈的两端输出感应电动势；所述质量块的下端面固定有检测电容上电极，底座上表面固定有检测电容下电极，所述检测电容上电极与检测电容下电极平行相对，二者形成检测电容；所述底座上表面还固定有参考电容下电极，所述底座的上方还固定有参考电容上电极，所述参考电容上电极与参考电容下电极平行相对，二者形成参考电容。本发明基于电磁驱动，磁电/电容检出的技术，以达到低成本，微型化，二轴角速度检测目的。

主 权 项：1.一种二轴角速度传感器，其特征在于：包括安装有永磁体（1）的底座（2），该底座（2）的上方设置有质量块（3），该质量块（3）经连接机构与底座（2）相连，该质量块（3）上布置有感应线圈（4），该感应线圈（4）的两端输出感应电动势；所述质量块（3）的下端面固定有检测电容上电极（5），底座（2）上表面固定有检测电容下电极（5’），所述检测电容上电极（5）与检测电容下电极（5’）平行相对，二者形成检测电容；所述底座（2）上表面还固定有参考电容下电极（6’），所述底座（2）的上方还固定有参考电容上电极（6），所述参考电容上电极（6）与参考电容下电极（6’）平行相对，二者形成参考电容；所述连接机构包括安装在所述底座（2）四角的支柱（7），所述质量块（3）的四角经绝缘硅梁（8）连接在所述支柱（7）上；所述质量块（3）的相邻两边分别布置有一条所述感应线圈（4），每条所述感应线圈（4）的两端分别经所述绝缘硅梁（8）连接在感应导线焊盘（4a）上；所述检测电容上电极（5）与参考电容上电极（6）的总面积相等，检测电容上电极（5）与检测电容下电极（5’）之间的距离为a，参考电容上电极（6）与参考电容下电极（6’）之间的距离为b，且a=b；所述底座（2）的四边分别设置有一对绝缘支架（9），每对所述绝缘支架（9）上固定有一个所述参考电容上电极（6），四个所述参考电容上电极（6）的面积和等于所述检测电容上电极（5）的面积；所述检测电容上电极（5）的引线经所述绝缘硅梁（8）后，连接在所述绝缘支架（9）的电容焊盘（5a）上；所述质量块（3）上还布置有驱动线圈（10），该驱动线圈（10）的两端引线经所述绝缘硅梁（8）后，连接在所述绝缘支架（9）的电源焊盘（10a）�

关 键 词：电极  电容  底座  参考电容  质量块  检测  固定  感应线圈  上表面  平行  角速度 角速度传感器 感应电动势 电磁驱动 连接机构  低成本  下端面  永磁体  

IPC专利分类号：G01C19/56(20120101)