文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210135847.1

申 请 日：20120503

发 明 人：王三胜 张丽

申 请 人：北京鼎臣超导科技有限公司

申请人地址：100206 北京市海淀区沙河第二毛条厂4号楼3层

公 开 日：20140618

公 开 号：CN102649625B

代 理 人：姜荣丽

代理机构：11121 北京永创新实专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，属于材料制备方法技术领域。所述的清洗方法通过双氧水超声、超纯水超声、丙酮超声、乙醇超声、吹干、擦拭、烘烤和等离子体清洗器清洗，获得清洗干净的玻璃衬底，最后可以在玻璃衬底表面进行镀膜。本发明提供的清洗方法中未使用强酸强碱，可以保证玻璃的表面不受破坏。本清洗方法操作简单，流程较短，不需要大的清洗装置和大量的清洗液，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。

主 权 项：1.一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于，所述的清洗方法具体通过如下步骤实现：第一步，先将玻璃衬底放入双氧水中超声清洗1～3分钟；所述的双氧水的质量百分比浓度为3%-30%；第二步，将玻璃衬底放入超纯水中超声5～10分钟；第三步，将玻璃衬底放入丙酮中超声5～10分钟；第四步，将玻璃衬底放入乙醇中超声5～10分钟；第五步，用氩气将玻璃衬底吹干；第六步，用干净的丝绸擦拭玻璃衬底表面；第七步，将玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5～10分钟；烘箱温度为40℃-120℃；第八步，将玻璃衬底放入等离子体清洗器清洗3～5分钟；在清洗干净的玻璃衬底表面进行镀膜；所述的玻璃衬底为K9玻璃衬底或石英玻璃衬底。

关 键 词：玻璃衬底 超声 镀膜 双氧水 玻璃衬底表面  材料制备方法  等离子体清洗  丙酮超声  节约成本  强酸强碱  清洗装置  乙醇超声  超纯水 清洗液  烘烤  擦拭  玻璃  干净  能源  

IPC专利分类号：C03C25/70(20060101);B08B3/12(20060101);B08B3/08(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/34(20060101)