文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210339878.9

申 请 日：20120913

发 明 人：吕铁铮

申 请 人：江苏有能光电科技有限公司

申请人地址：212132 江苏省镇江市大港通港路7号

公 开 日：20160511

公 开 号：CN102899724B

代 理 人：李高峡

代理机构：51222 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种消除蓝宝石晶体生长过程中气泡的方法，它是在蓝宝石晶体生长过程中，加载超声波，超声波的频率不低于230kHz。本发明提供的方法可以有效去除蓝宝石晶体生长过程中的气泡，且操作简单，成本低廉，有较强的工业应用价值。

主 权 项：1.一种消除蓝宝石晶体生长过程中气泡的方法，其特征在于：它是在蓝宝石晶体生长过程中，加载超声波，超声波频率为230kHz；具体步骤如下：(1)装料及籽晶放置：将经过精确定向的直径为20mm的0001方向优质蓝宝石籽晶置于坩埚底部籽晶槽内，然后将47kg经过预处理的高纯氧化铝块料和粉料，氧化铝块料和粉料的纯度＞99.995％，氧化铝块料和粉料的比例为7:3，放入晶体炉坩埚内，关闭晶体炉，启动冷却水循环系统；(2)真空条件下化料：打开真空系统，当炉体抽真空至2×10^-4Pa时，进行炉体检漏，炉体漏气率＜0.08mt/s,漏检通过则启动加热系统，此时隔热笼处于原始位置，加热方式为功率控制，原料由坩埚顶部向下融化，当温度达到1900℃时，加热方式改为温度控制，进一步融化原料，控制籽晶高度不低于10mm，待原料全部融化时，保温1-2小时，使熔融液体充分搅拌；(3)晶体生长阶段：进入长晶阶段，坩埚底部通入冷却气体，冷却气体的纯度为99.9995％，冷却气体的含水量和含氧量分别低于20PPB、10PPB的高纯氦气，控制温度以4℃/h下降，部分熔体在籽晶周围结晶，整个过程长晶速率为1—2mm/h，直至晶体生长结束；在晶体生长过程中打开超声波发生装置，超声波垂直于固液生长界面，设定其超声频率为230kHz，直至晶体生长结束；(4)退火及冷却：晶体长晶结束后进入退火工艺，退火过程中隔热笼在原始位置，并且氦气流量降低至10L/min时，晶体顶部温度下降，底部温度上升，至顶部和底部温度一致且为1800℃时，进行原位退火，随后以20℃/h的速率降温，直至炉体内温度降至80℃；退火过程中超声波装置停止使用；(5)出炉：保持10小时后，开启进气阀充气，使炉体内压力与大气压力一致，打开炉体，静置5小时后，取出蓝宝石晶体，整个操作�

关 键 词：蓝宝石晶体生长  超声波 工业应用  加载 去除  一种  低于  消除  公开  有效  

IPC专利分类号：C30B30/06(20060101);C30B29/20(20060101)