文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210440974.2

申 请 日：20121107

发 明 人：王笑冰 李建兵 张海明

申 请 人：深圳大学反光材料厂

申请人地址：518132 广东省深圳市光明新区田寮大道聚汇工业园1栋

公 开 日：20130313

公 开 号：CN102967999A

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及光刻技术领域，提供了一种基于空间光调制器的干涉光刻系统，该系统中，光源发出的照射光束经过扩束镜成为发散光，发散光经过准直透镜成为平行光，平行光入射空间光调制器，空间光调制器对平行光进行图像信息调制，计算机控制空间光调制器显示图案，平行光通过空间光调制器上显示的图案进行衍射分光后成为衍射光，衍射光经过傅立叶变换透镜后在傅立叶变换透镜的后焦面上形成谱面图样，由傅立叶变换谱面滤波挡板控制所需级数的衍射光通过，通过傅立叶变换谱面滤波挡板的衍射光经过成像镜干涉成像于光刻胶干板。本发明通过计算机控制空间光调制器上显示图案，由空间光调制器同时完成图像信息调制和衍射分光的功能。

主 权 项：1.一种基于空间光调制器的干涉光刻系统，其特征在于，所述系统按光束传播方向依次包括：光源、扩束镜、准直透镜、空间光调制装置、傅立叶变换透镜、傅立叶变换谱面滤波挡板、成像镜、光刻胶干板，所述空间光调制装置包括空间光调制器和计算机，计算机与空间光调制器连接；所述光源发出的照射光束经过扩束镜成为发散光，发散光经过准直透镜成为平行光，平行光入射空间光调制器，空间光调制器对平行光进行图像信息调制，计算机控制空间光调制器显示图案，平行光通过空间光调制器上显示的图案进行衍射分光后成为衍射光，衍射光经过傅立叶变换透镜后在傅立叶变换透镜的后焦面上形成谱面图样，由傅立叶变换谱面滤波挡板控制所需级数的衍射光通过，通过傅立叶变换谱面滤波挡板的衍射光经过成像镜干涉成像于光刻胶干板。

关 键 词：空间光调制器 傅立叶变换 平行光 衍射光  透镜  计算机控制  挡板  图像信息  发散光  图案  分光  滤波  衍射  调制  光刻技术领域  光刻胶干板  光刻系统 照射光束  扩束镜  干涉  图样  光源  

IPC专利分类号：G03F7/20(20060101);G02B27/10(20060101)