文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210449867.6

申 请 日：20121112

发 明 人：李兆辉 胡广华 梁飞龙 杨华 梁子健

申 请 人：广州南沙华卓化工有限公司

申请人地址：511458 广东省广州市南沙区广意路24号

公 开 日：20130220

公 开 号：CN102937598A

代 理 人：郭晓桂

代理机构：44253 广州致信伟盛知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开一种ITO薄膜电路图案缺陷信息的紫外光学在线自动检测方法及其装置，包括紫外光学装置、微距视觉成像装置、图像采集同步控制装置、图像处理装置及结果输出装置。紫外光学装置对ITO薄膜同时形成亮-暗场照明，达到突出ITO电路图案与PET基材背景之间在图像空间中的灰度对比度、增强电路图案缺陷信息的目的；采用编码器建立同步信号，图像采集同步控制装置对该同步信号进行调制后，控制图像采集触发信号与薄膜运行速度的精确同步；微距视觉成像装置对缺陷信息进行高分辨率放大，通过图像采集同步控制装置传输至处理器，并由图像处理装置进行分析处理；结果输出装置对检测出的缺陷信息进行统计、分类、报警、存储和显示。

主 权 项：1.ITO薄膜电路图案缺陷信息的紫外光学在线自动检测方法，其包括： 1）增强灰度对比度和缺陷信息的步骤，其通过紫外光学装置对ITO薄膜形成亮-暗场照明，突出ITO电路图案与PET基材背景之间在图像空间中的灰度对比度和增强电路图案缺陷特征信息； 2）同步图像采集的步骤，采用与ITO薄膜同轴连接的编码器输出同步信号，图像采集同步控制装置对该同步信号进行调制后，控制图像采集触发信号与薄膜运行速度的精确同步； 3）原始图像分析处理的步骤，其通过微距视觉成像装置对电路图案缺陷信息进行可达10um/pixel以上的图像分辨率放大得到原始图像，通过图像采集装置经高速数据总线传输至图像处理装置进行分析和处理； 4）实时缺陷信息判别分析的步骤，其通过结果输出装置将缺陷特征信息及位置信息进行统计、分类、存储、报警和显示。

关 键 词：图像采集  同步控制装置 紫外光学  结果输出装置  图像处理装置  电路 缺陷信息  视觉成像  同步信号  图案缺陷  微距 薄膜运行速度  在线自动检测  灰度对比度  暗场照明  触发信号  分析处理  高分辨率  进行统计  精确同步  图像空间 编码器  处理器  基材  调制  存储  放大  报警  图案  检测  

IPC专利分类号：G01N21/956(20060101)