文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201310053518.7

申 请 日：20130219

发 明 人：赵盛宇 张松岭 郭卫军 曾林波 钟辉

申 请 人：深圳市海目星激光科技有限公司

申请人地址：518000 广东省深圳市宝安区观澜街道新城社区观澜大道152号2栋

公 开 日：20130605

公 开 号：CN103128450A

代 理 人：黄培智

代理机构：44001 广州科粤专利商标代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种紫外激光加工装置，包括紫外激光器、振镜系统、聚焦透镜，在紫外激光器和振镜X之间的光路上还设有分光片，在分光片的上方还设有同轴视觉系统，同轴光源设在加工工件的一侧；紫外激光器发出的紫外激光束水平入射到分光片上，经过分光片的透射、振镜系统的全反射、聚焦透镜的折射将紫外激光束汇聚到加工工件上；光源发出的光投射到加工工件上，加工工件依次经过聚焦透镜的折射、振镜系统的全反射后变成平行光再入射到分光片上，再经过分光片的全反射后被同轴视觉系统捕捉成像，工业控制计算机根据该成像数据调整振镜系统中的振镜X和振镜Y的偏向角度。本发明的紫外激光加工装置，加工精度高，能对加工工件进行精确打标和切割。

主 权 项：1.一种紫外激光加工装置，包括紫外激光器、振镜系统、聚焦透镜，其特征在于：在紫外激光器和振镜X之间的光路上还设有分光片，在分光片的上方还设有同轴视觉系统，同轴视觉系统里的同轴光源设在加工工件的一侧；紫外激光器发出的紫外激光束水平入射到分光片上，经过分光片的透射、再经过振镜系统的全反射、最后经过聚焦透镜的折射将紫外激光束汇聚到加工工件上；同轴光源发出的光投射到加工工件上，加工工件的反射光依次经过聚焦透镜的折射、振镜系统的全反射后变成平行光再入射到分光片上，再经过分光片的全反射后被同轴视觉系统捕捉成像，同轴视觉系统将成像数据发送到工业控制计算机，工业控制计算机根据该成像数据调整振镜系统中的振镜X和振镜Y的偏向角度。

关 键 词：分光  加工工件  紫外激光器 聚焦透镜 全反射  紫外激光束  加工装置  视觉系统 紫外激光 光源  工业控制计算机 成像数据  加工精度  偏向角度  水平入射  平行光 打标  透射  切割  捕捉  汇聚  

IPC专利分类号：B23K26/36(20060101);B23K26/06(20060101);B23K26/42(20060101)