文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210583938.1

申 请 日：20121228

发 明 人：吕铁铮 李万辉

申 请 人：江苏有能光电科技有限公司

申请人地址：212132 江苏省镇江市大港通港路7号

公 开 日：20130717

公 开 号：CN103205807A

代 理 人：李高峡;全学荣

代理机构：成都高远知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供了一种制备准单晶硅的铸锭炉。本发明还提供了一种准单晶硅的制备方法，它是在准单晶铸锭炉中完成准单晶硅的生长，采用热交换装置，利用气体换热，控制温度、调节固液界面，生长准单晶。本发明通过使用特殊的热交换装置，用气体换热的方式替代传统的隔热笼换热方式，能精确控制籽晶温度，解决了固液界面不平坦的问题，提高准单晶比例以及提升硅料利用率。

主 权 项：1.一种制备准单晶硅的铸锭炉，其特征在于：包括炉体（1）、坩埚（2）、石墨柱（3）；石墨柱（3）安装在炉体（1）底部，坩埚（2）安装在石墨柱（3）上，炉体（1）和坩埚（2）有导流筒（8）相连；炉体（1）和坩埚（2）之间设有隔热装置（4）；坩埚（2）外部设置有加热装置（5）；坩埚底部设置有热交换装置（6）；热交换装置（6）上有冷气管（61）和热气管（62）与热交换器（7）连接。

关 键 词：单晶硅 热交换装置  固液界面 气体换热  单晶 单晶铸锭  精确控制  制备方法  籽晶温度  生长  隔热笼  铸锭炉  硅料  换热  平坦  

IPC专利分类号：C30B28/06(20060101);C30B29/06(20060101);C30B11/00(20060101)