文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201410048364.7

申 请 日：20140212

发 明 人：陶春辉 李淼 张健 高会议 董俊 李华龙 郑守国

申 请 人：无锡中科智能农业发展有限责任公司 中国科学院合肥物质科学研究院

申请人地址：214000 江苏省无锡市锡山区无锡现代高科技农业示范园

公 开 日：20140528

公 开 号：CN103822891A

代 理 人：奚华保

代理机构：34115 合肥天明专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，包括相对布置的上部本体和下部本体，其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板，上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处，下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处，光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处，上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸，用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外，因为是小尺寸器件，所以可以使用MEMS工艺进行制作，可使此类传感器大大降低成本，同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性，从而达到批量生产的目的。

主 权 项：1.一种小尺寸NDIR 型气体传感器的光学结构，其特征在于：包括相对布置的上部本体（1）和下部本体（2），其上均设置反射凹槽（3）,两相邻反射凹槽（3）之间设置隔板（4），上部本体（1）的反射凹槽（3）的中心位置处对应下部本体（2）的隔板（4）位置处，下部本体（2）的反射凹槽（3）的中心位置处对应上部本体（1）的隔板（4）位置处，光源（7）、探测器（8）分别布置在上部本体（1）和下部本体（2）的边角处，上部本体（1）和下部本体（2）共同围成由光源（7）到探测器（8）的光学路径。

关 键 词：下部  上部  反射凹槽  隔板位置  小尺寸 探测器 光源 隔板  气体传感器 光学结构 光学路径  优化结构  整体尺寸  差异性  微组装 传感器 边角  

IPC专利分类号：G01N21/3504(20140101);G01N21/01(20060101)