专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:发明专利
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN201410038743.8
申 请 日:20140127
申 请 人:成都天马微电子有限公司 天马微电子股份有限公司
申请人地址:611730 四川省成都市高新西区天源路88号
公 开 日:20140820
公 开 号:CN103995368A
语 种:中文
摘 要:本发明提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。所述防干燥液供给系统,包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中,所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液,所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。所述涂布设备还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。本发明的防干燥液供给系统和涂布设备,能在保证提高产能的同时,实现对两个防干燥槽进行加液,从而对暂不工作的喷吐头进行保养。
主 权 项:1.一种防干燥液供给系统,所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元,其中,所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液,所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。
关 键 词:干燥 供给系统 涂布设备 流量控制单元 连接 交替导通 盛放 保养 连通
IPC专利分类号:G02F1/13(20060101)
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...