文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201410038743.8

申 请 日：20140127

发 明 人：段乐乐 陈崔军

申 请 人：成都天马微电子有限公司 天马微电子股份有限公司

申请人地址：611730 四川省成都市高新西区天源路88号

公 开 日：20140820

公 开 号：CN103995368A

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。所述防干燥液供给系统，包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。所述涂布设备还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。本发明的防干燥液供给系统和涂布设备，能在保证提高产能的同时，实现对两个防干燥槽进行加液，从而对暂不工作的喷吐头进行保养。

主 权 项：1.一种防干燥液供给系统，所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。

关 键 词：干燥  供给系统  涂布设备 流量控制单元  连接  交替导通  盛放  保养  连通  

IPC专利分类号：G02F1/13(20060101)