文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201410322284.6

申 请 日：20140708

发 明 人：徐红艳 张克栋 崔铮

申 请 人：苏州纳格光电科技有限公司

申请人地址：215123 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼104室

公 开 日：20160824

公 开 号：CN104062321B

代 理 人：杨林洁

代理机构：苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明揭示了一种功能区为网格状的半导体气体传感器，包括基底；设置在基底上的信号感测电极，信号感测电极包括彼此分离的第一导电电极、第二导电电极以及电性连接第一导电电极和第二导电电极的功能层，基底上位于第一导电电极和第二导电电极之间的至少部分区域设置有蜂窝结构，蜂窝结构上设置有功能层；设置在基底上的加热电极，加热电极与信号感测电极彼此绝缘。通过在基底上设置功能层的区域布设蜂窝结构，利用蜂窝结构的结构特性，使得单位面积的基底上可以附着更多的气敏材料，且保证了待检测气体与气敏材料的充分接触，提升了传感器的使用寿命。

主 权 项：1.一种功能区为网格状的半导体气体传感器，其特征在于，包括：基底；设置在所述基底上的信号感测电极，所述信号感测电极包括彼此分离的第一导电电极、第二导电电极以及电性连接所述第一导电电极和第二导电电极的功能层，所述基底上位于所述第一导电电极和第二导电电极之间的至少部分区域设置有蜂窝结构，所述蜂窝结构上设置有所述功能层，所蜂窝结构包括蜂窝层，所述蜂窝层呈包括若干元胞的网格状，所述元胞具有元胞壁，所述元胞壁上具有通气口；设置在所述基底上的加热电极，所述加热电极与所述信号感测电极彼此绝缘。

关 键 词：导电电极  基底  蜂窝结构 信号感测  功能层  电极  加热电极  气敏材料 半导体气体传感器 彼此分离  充分接触  电性连接  结构特性 区域布设  区域设置  使用寿命  传感器 功能区 网格状  附着  绝缘  检测  保证  

IPC专利分类号：G01N27/00(20060101)