专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:发明专利
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN201410299246.3
申 请 日:20140626
申 请 人:山西飞虹微纳米光电科技有限公司
申请人地址:041600 山西省临汾市洪洞县甘亭工业园区
公 开 日:20141022
公 开 号:CN104112800A
代 理 人:董芙蓉
代理机构:11385 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司
语 种:中文
摘 要:本发明提供一种采用复合DBR提高亮度的发光二极管及其制备方法,涉及发光二极管的外延技术领域。在n-GaAs衬底上由下至上外延生长n-GaAs缓冲层,n-Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>As渐变层,复合式布拉格反射器(DBR),n-InAlP限制层,(Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>)<Sub>0.5</Sub>In<Sub>0.5</Sub>P/(Al<Sub>y</Sub>Ga<Sub>1-y</Sub>)<Sub>0.5</Sub>In<Sub>0.5</Sub>P有源层,p-InAlP限制层,p-(Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>)<Sub>0.5</Sub>In<Sub>0.5</Sub>P过渡层,p-GaP窗口层。其制备方法是:采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法在n-GaAs衬底上至下而上依次外延生长各层。本发明的优点是:采用复合DBR来减少衬底对有源区下面的光的吸收,既能反射小角度入射光又能反射大角度入射光,进而提高发光二极管器件的亮度。该发光二级管的制备工艺简单、易于实施,便于推广应用。
主 权 项:1.一种采用复合DBR提高亮度的发光二极管,其特征在于:所述发光二极管的结构为:在n-GaAs衬底上由下至上外延生长有n-GaAs缓冲层,n-AlxGa1-xAs渐变层,复合式布拉格反射器(DBR),n-InAlP限制层,(AlxGa1-x)0.5In0.5P/(AlyGa1-y)0.5In0.5P有源层,p-InAlP限制层,p-(AlxGa1-x)0.5In0.5P过渡层,p-GaP窗口层,p面电极;其中,所述复合式布拉格反射器的结构由上下两个部分组成,两部分的材料相同,结构不同。
关 键 词:衬底 发光二极管 角度入射光 外延生长 制备方法 有源 金属有机化学气相沉积 发光二极管器件 复合 发光二级管 外延技术 制备工艺 窗口层 反射器 复合式 过渡层 缓冲层
IPC专利分类号:H01L33/10(20100101)
参考文献:
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引证文献:
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同被引文献:
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