文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201510206421.4

申 请 日：20150427

发 明 人：董闯 陈宝清 陈大民 谷伟 胡小刚

申 请 人：大连理工大学 大连纳晶科技有限公司

申请人地址：116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

公 开 日：20180223

公 开 号：CN104911534B

代 理 人：侯明远

代理机构：21200 大连理工大学专利中心

语　　种：中文

摘　　要：一种脉冲离子氮化阴极电弧大型弧源一体机，属于材料表面技术领域。其特征是：包括真空室1、阴极电弧源电源2、工件3、抽真空系统4、脉冲负偏压电源5、脉冲离子渗氮电源6、通入Ar、N<Sub>2</Sub>、H<Sub>2</Sub>装置7、加热装置8、通入氨、丙酮或乙醇、或丙烷、或CO<Sub>2</Sub>装置9；能承担真空消除应力退火，脉冲离子氮化、脉冲离子软氮化及阴极电弧离子镀厚膜；能制备工件3表层耐磨层硬度呈缓和过渡分布,防止镀膜脱落的镀膜。本发明的效果和益处是：可代替现行电镀硬铬，对环境没有污染,对人体无害；解决钛合金耐磨性不足；应用广泛如模具、机床零部件、机车、轴类、缸套、活塞环、进排气伐、航天器件等部件。

主 权 项：1.一种脉冲离子氮化阴极电弧大型弧源一体机，包括真空室(1)、阴极电弧源电源(2)、工件(3)、抽真空系统(4)、脉冲负偏压电源(5)、脉冲离子渗氮电源(6)、通入Ar、N₂、H₂装置(7)、加热装置(8)、通入氨、丙酮、或乙醇、或丙烷、或CO2装置(9)组成；其特征是：脉冲离子渗氮电源(6)主要参数是：最大输出峰值电流：200～300A，最大输出平均电流：100～150A，输出电压：0～1000V连续可调，频率：1000Hz，灭弧速度：≤15微秒(us)；阴极电弧大型弧源(2)主要参数是：弧电源：100～400A，阴极电弧源靶材尺寸：￠100～200mm，弧斑驱动磁场：双磁场；脉冲离子氮化阴极电弧大型弧源一体机能承担真空消除应力退火、脉冲离子氮化、脉冲离子软氮化及阴极电弧离子镀厚膜工艺操作；能制备工件(3)表层耐磨层硬度呈缓和过渡分布厚膜层；在一体机同时完成脉冲离子渗氮及阴极电弧离子镀工艺操作，能制备工件(3)表层耐磨层硬度呈缓和过渡的厚膜层，工件(3)基材硬度200～300Hv，脉冲离子氮化炉制备改性层硬度400～1200Hv,改性层厚度40～150μm,阴极电弧离子镀制备镀膜层硬1300～2000Hv，膜层厚度20～80μm。

关 键 词：脉冲离子  电源  氮化 镀膜  活塞环  阴极电弧离子镀  消除应力退火 抽真空系统  机床零部件 脉冲负偏压  阴极电弧源  耐磨性  电镀硬铬 航天器件  加热装置  阴极电弧  进排气 耐磨层  软氮化 一体机 真空室  钛合金  乙醇  丙酮  丙烷  缸套  厚膜  弧源  渗氮  轴类  制备  模具  机车  缓和  污染  应用  

IPC专利分类号：C23C8/36(20060101)