文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201510292702.6

申 请 日：20150602

发 明 人：孙一军 李鸿渐 李盼盼 赵新印 王明洋 金豫浙 李志聪 王辉 王国宏

申 请 人：扬州中科半导体照明有限公司

申请人地址：225009 江苏省扬州市开发区临江路186号

公 开 日：20150916

公 开 号：CN104911701A

代 理 人：江平

代理机构：32106 扬州市锦江专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件，涉及GaN基LED外延生产领域，特别是提高MOCVD外延片波长均匀性的石墨盘组件的结构技术。本发明包括石墨盘、卫星盘和固定栓，所述固定栓为柱形石墨件，在柱形石墨件表面设置碳化硅涂层。本发明消除了现有固定栓与石墨之间热导率的差异，使得中心片温度与边缘片温度一致，从而提高LED波长均匀性。该方法结构简单，实用性强。

主 权 项：1.提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件，包括石墨盘、卫星盘和固定栓，石墨盘上具有与卫星盘配合的大圆柱形凹槽，凹槽底部具有能够使卫星盘旋转的环形线槽，在大圆柱形凹槽的底部中心位置有一个圆柱形上凹槽，在卫星盘的背面中心开设支撑凹槽，在所述上凹槽和支撑凹槽之间设置固定栓，在卫星盘的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：所述固定栓为柱形石墨件，在柱形石墨件表面设置碳化硅涂层。

关 键 词：石墨 固定栓  均匀性 波长 盘组件  外延片 柱形  碳化硅涂层 结构技术  热导率  卫星  

IPC专利分类号：C30B25/12(20060101)