文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201610480492.8

申 请 日：20160627

发 明 人：邹帅 王栩生 邢国强

申 请 人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司

申请人地址：215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

公 开 日：20181113

公 开 号：CN106098810B

代 理 人：陆金星

代理机构：32251 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，包括如下步骤：(1)在硅片表面形成多孔质层结构；(2)用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀，形成绒面结构；所述第一化学腐蚀液为氢氟酸、氧化剂和添加剂的混合溶液；所述添加剂为醋酸或柠檬酸。本发明设计一种新的化学腐蚀液，采用该化学腐蚀液对多孔质层结构进行表面刻蚀，形成绒面结构，实验证明：本发明的化学腐蚀液反应速度可控，因而可以保障绒面结构的稳定性和均匀性、以及太阳电池电性能的稳定性。

主 权 项：1.一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在硅片表面形成多孔质层结构；将硅片放入含有氧化剂以及金属盐的氢氟酸溶液中，形成步骤(1)中所述多孔质层结构；或，先将硅片放入含有金属离子的溶液中浸泡，使硅片表面涂覆一层金属纳米颗粒，然后用化学腐蚀液腐蚀硅片表面，形成步骤(1)中所述多孔质层结构；(2)用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀，形成绒面结构，并清洗硅片表面残留的金属颗粒；步骤（2）中所述第一化学腐蚀液为氢氟酸、氧化剂和添加剂的混合溶液；所述添加剂为柠檬酸或柠檬酸钠。

关 键 词：化学腐蚀液  绒面结构  表面刻蚀  多孔质层  添加剂  晶体硅太阳能电池 醋酸 柠檬酸  氧化剂  硅片表面 混合溶液  速度可控  电性能 均匀性  氢氟酸 制备  

IPC专利分类号：H01L31/0236(20060101);H01L21/306(20060101);B82Y40/00(20110101)