文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201611260086.7

申 请 日：20161230

发 明 人：任国强 王建峰 徐科 张育民 徐俞

申 请 人：苏州纳维科技有限公司

申请人地址：215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号

公 开 日：20180710

公 开 号：CN108265279A

代 理 人：韩凤

代理机构：32293 苏州国诚专利代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供一种金属Ga高效利用装置及方法，所述金属Ga高效利用装置包括：生长设备、气液分离器；所述生长设备为利用金属Ga作为原材料的生长设备，其内部形成含Ga材料生长空间，所述气液分离器具有气液进口、气体出口以及液体Ga出口，所述气液分离器的气液进口通过管路与所述含Ga材料生长空间相连通，气液混合物通过所述气液进口进入所述气液分离器中，液体Ga通过所述液体Ga出口排出。本发明的金属Ga高效利用装置及方法通过气液分离器实现了液体Ga的回收利用，其提高了Ga源的利用率，显著降低了氢化物外延的生长成本，取得了较好的经济效益。

主 权 项：1.一种金属Ga高效利用装置，其特征在于，所述金属Ga高效利用装置包括：生长设备、气液分离器；所述生长设备为利用金属Ga作为原材料的生长设备，其内部形成含Ga材料生长空间，所述气液分离器具有气液进口、气体出口以及液体Ga出口，所述气液分离器的气液进口通过管路与所述含Ga材料生长空间相连通，气液混合物通过所述气液进口进入所述气液分离器中，液体Ga通过所述液体Ga出口排出。

关 键 词：气液分离器 高效利用装置  生长设备  金属 材料生长  气液进口  气液混合物  回收利用  气体出口  气液分离 氢化物 液进口  排出  出口  生长  

IPC专利分类号：C23C16/34(20060101);C23C16/448(20060101);C23C16/40(20060101)