文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201810224198.X

申 请 日：20180319

发 明 人：何高法 周明举 孟杰

申 请 人：重庆科技学院

申请人地址：401331 重庆市沙坪坝区大学城东路20号

公 开 日：20180814

公 开 号：CN108398575A

代 理 人：王玉芝;杨明

代理机构：50223 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供一种静电谐振式加速度计，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态。本发明采用谐振器和质量块分离设计，谐振器和质量块之间的作用力为非接触长程静电力，确保谐振器的独立工作，提高了谐振器的品质因子和灵敏度。本发明中，感应加速度变化量的静电力作用在谐振器梁(或音叉梁)的横向，对谐振频率的影响大，加速度计灵敏度高。在制造工艺方面，本发明将谐振器和质量块分离制造，结构简单，制造成本低。

主 权 项：1.一种静电谐振式加速度计，其特征在于，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态。

关 键 词：谐振器 质量块  静电力  加速度计灵敏度  谐振式加速度计 加速度变化量  静电力作用  分离设计  加速度计 品质因子  谐振频率  谐振器梁  谐振状态  直流电压  制造成本  制造工艺  导体  静电 非接触  灵敏度 电极  长程  音叉  施加  制造  

IPC专利分类号：G01P15/097(20060101)