文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201810961063.1

申 请 日：20180822

发 明 人：艾曼灵 金波 李冰霞 吴江波 顾培夫

申 请 人：杭州科汀光学技术有限公司

申请人地址：311100 浙江省杭州市余杭经济开发区天荷路21号

公 开 日：20240419

公 开 号：CN109001849B

代 理 人：陈升华

代理机构：杭州求是专利事务所有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种宽波长域的高效减反射膜及采用该减反射膜的投影显示光学系统和拍摄成像光学系统，减反射膜包括基底及设置在基底上依次由色散补偿膜堆、导纳匹配膜堆和增透膜堆构成的多层膜系所组成。色散补偿膜堆由高折射率Ta<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>膜和次低折射率SiO<Sub>2</Sub>膜交替组成；导纳匹配膜堆由高折射率Ta<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>膜和低折射率MgF<Sub>2</Sub>膜交替组成；增透膜堆依次由中间折射率Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>膜、高折射率Ta<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>膜以及低折射率MgF<Sub>2</Sub>膜组成；膜层数为16～23层。该减反射膜在波长域450～650nm内的平均残余反射率为0.0023％。这种减反射膜在投影显示和拍摄成像系统中具有重要意义。

主 权 项：1.一种宽波长域的高效减反射膜，包括基底以及设置在所述基底上的多层膜系，其特征在于，所述的多层膜系由依次设置在所述基底上的色散补偿膜堆、导纳匹配膜堆和增透膜堆构成；所述的基底为光学玻璃或光学塑料；所述的色散补偿膜堆由次低折射率的二氧化硅膜和高折射率的五氧化二钽膜或二氧化钛膜交替组成；所述的导纳匹配膜堆由低折射率的氟化镁膜和高折射率的五氧化二钽膜或二氧化钛膜交替组成；所述的增透膜堆依次由中间折射率的三氧化二铝膜、高折射率的五氧化二钽膜或二氧化钛膜以及低折射率的氟化镁膜组成；当所述的多层膜系中的膜层总数为20 层，K9 玻璃基底上依次设置色散补偿膜堆、导纳匹配膜堆、增透膜堆，色散补偿膜堆的膜层数为8层，由基底向外，第1、3、5、7层为高折射率的五氧化二钽膜，第2、4、6、8层为次低折射率的二氧化硅膜，导纳匹配膜堆的膜层数为9层，由色散补偿膜堆向外，第9、11、13、15、17层为高折射率的五氧化二钽膜，第10、12、14、16层为低折射率的氟化镁膜，增透膜堆的膜层数为3 层，由导纳匹配膜堆向外，第18至20层依次是三氧化二铝膜、五氧化二钽膜和氟化镁膜；当所述的多层膜系中的膜层总数为18 层，SF57 玻璃基底上依次设置色散补偿膜堆、导纳匹配膜堆、增透膜堆，色散补偿膜堆的膜层数为6层，由基底向外，第1、3、5 层为高折射率的五氧化二钽膜，第2、4、6 层为次低折射率的二氧化硅膜，导纳匹配膜堆的膜层数为9层，由色散补偿膜堆向外，第7、9、11、13、15 层为高折射率的五氧化二钽膜，第8、10、12、14层为低折射率的氟化镁膜，增透膜堆的膜层数为3层，由导纳匹配膜堆向外，第16至18层依次是三氧化二铝膜、五氧化二钽膜和氟化镁膜；当所述的多层膜系中的膜层总数

关 键 词：减反射膜 低折射率  高折射率  导纳 色散补偿 匹配膜  增透膜 基底  膜堆  投影显示光学系统  成像光学系统  成像系统  投影显示  重要意义  波长域  多层膜  反射率  宽波长  膜层数  折射率  拍摄  

IPC专利分类号：G02B1/115