文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201811308604.7

申 请 日：20181105

发 明 人：王济洲 王小军 李凯朋 王云飞 许斌 杨登强 汪洋 杨子文 王际充

申 请 人：无锡泓瑞航天科技有限公司

申请人地址：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号传感网国际创新园G6

公 开 日：20190104

公 开 号：CN109143440A

代 理 人：王闯;葛莉华

代理机构：32260 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明属于表面技术领域，具体涉及一种3.50～3.90μm中波红外微型滤光片及其制备方法。该滤光片包括硅基底和长、短波通膜系；长波通膜系结构为(0.35H0.7L0.35H)^9(0.5HL0.5H)^13，中心波长为2800nm；短波通膜系结构为(0.5LH0.5L)^13，中心波长为4650nm；H和L分别为锗膜层和硫化锌膜层；通过真空中加热硅基底，采用离子束辅助的电子枪蒸发法在基底两侧沉积长、短波通膜系，冷却后制得。所述滤光片在3.50～3.90μm谱段具有高透过率，在0.80～3.30μm和4.10～5.50μm谱段宽截止，并且可以再低温(80K)下使用，并满足在空间微型组合滤光片中的拼接要求。

主 权 项：1.一种3.50～3.90μm短波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片由硅基底、所述硅基底的一侧的长波通膜系，所述硅基底的另一侧的短波通膜系组成；所述长波通膜系由锗(Ge)膜层和硫化锌(ZnS)膜层交替叠加组成，所述长波通膜系的结构为：(0.35H0.7L0.35H)^9(0.5HL0.5H)^13，中心波长为2800nm；H为锗膜层，0.5为锗膜层厚度对应基本厚度的系数，0.5H表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，L为硫化锌膜层，1为硫化锌膜层厚度对应基本厚度的系数，L表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，9为基本膜堆(0.35H0.7L0.35H)的周期数，13为基本膜堆(0.5HL0.5H)的周期数；所述短波通膜系由锗和硫化锌膜层交替叠加组成，所述短波通膜系的结构为：(0.5LH0.5L)^13，中心波长为4650nm；其中，H为锗膜层，1为锗膜层厚度对应基本厚度的系数，H表示锗膜层厚度为1个基本厚度，H表示锗膜层厚度为1个基本厚度，L为硫化锌膜层，0.5为硫化锌膜层厚度对应基本厚度的系数，0.5L表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，13为基本膜堆(0.5LH0.5L)的周期数；所述基本厚度为所述长波通膜系或所述短波通膜系的光学厚度中心波长的四分之一。

关 键 词：短波通膜  滤光片  中心波长  硅基  离子束辅助 硫化锌膜层  微型滤光片  表面技术  长波通膜  高透过率  基底两侧  微型组合  电子枪  锗膜层  蒸发法 沉积  拼接  制备  加热  冷却  截止  

IPC专利分类号：G02B5/28(20060101)