文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201810948461.X

申 请 日：20180820

发 明 人：大岛佑一 藤田静雄 金子健太郎 嘉数诚 河原克明 四户孝 松田时宜 人罗俊实

申 请 人：流慧株式会社 国立研究开发法人物质·材料研究机构 国立大学法人京都大学 国立大学法人佐贺大学

申请人地址：日本京都

公 开 日：20190305

公 开 号：CN109423694A

代 理 人：王东贤;王珍仙

代理机构：11018 北京德琦知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：根据本发明主题的方面，结晶膜包括结晶金属氧化物作为主要组分，结晶膜包括刚玉结构、9μm<Sup>2</Sup>或更大的表面积和小于5×10<Sup>6</Sup>cm<Sup>‑2</Sup>的位错密度。

主 权 项：1.一种结晶膜，包括：作为主要组分的结晶金属氧化物；所述结晶膜包括刚玉结构、9μm²或更大的表面积和小于5×10⁶cm^-2的位错密度。

关 键 词：结晶膜  结晶金属氧化物  刚玉 位错

IPC专利分类号：C30B29/16(20060101);C30B25/16(20060101);C30B25/18(20060101);C30B25/04(20060101)