文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201910478858.1

申 请 日：20141201

发 明 人：王立言 毕鲜荣 周震 宋素梅

申 请 人：无锡源清天木生物科技有限公司

申请人地址：214135 江苏省无锡市新区太科园清源路立业楼E-308室

公 开 日：20220128

公 开 号：CN110167249B

代 理 人：闫桑田

代理机构：11688 北京彩和律师事务所

语　　种：中文

摘　　要：一种常压放电冷等离子体发生器，属于等离子体技术领域。该发生器包括上隔板、射频电极、下隔板和地电极；射频电极与射频电源连接，地电极与射频电源地线连接；上隔板覆盖于射频电极上。其特征在于，射频电极设有突起的平行板条，地电极、下隔板上均设有与射频电极的板条相匹配的窄槽，射频电极的平行板条可以穿过下隔板的窄槽，平行穿插于地电极的窄槽之间或穿过地电极的窄槽再平行穿插于地电极的平行板条之间；在射频电极的平行板条和地电极的窄槽之间或者和窄槽及平行板条之间形成等离子体放电室；下隔板内部设有纵横交叉的气体通道，可将工作气体均匀分配到各个放电室，通过施加电压，于常压下产生大体积的均匀的等离子体射流。

主 权 项：1.常压放电冷等离子体发生器，包括上隔板(6)、射频电极(7)、下隔板(8)和地电极(9)，射频电极(7)与射频电源(5)连接，地电极(9)与射频电源地线连接，上隔板(6)覆盖于射频电极(7)上，其特征在于，下隔板(8)内部设有纵横交叉的气体通道(12)，射频电极(7)设有突起的平行板条，地电极(9)、下隔板(8)上均设有与射频电极(7)的板条相匹配的窄槽，射频电极(7)的平行板条可以穿过下隔板(8)的窄槽(13)，平行穿插于地电极(9)的窄槽之间；在射频电极(7)的平行板条和地电极(9)的窄槽之间形成等离子体放电室(10)。

关 键 词：射频电极  地电极  窄槽 平行板条  下隔板  射频电源  上隔板  常压  穿插  平行  冷等离子体发生器  等离子体放电室  等离子体技术 等离子体射流 穿过  地线连接  工作气体  均匀分配  气体通道  施加电压  纵横交叉  发生器 放电室  突起  放电  板条 匹配  覆盖  

IPC专利分类号：H05H1/46(20060101)