文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201910917228.X

申 请 日：20190926

发 明 人：陈军 邵建达 张慧方 吴伦哲 杨明红 吴福林 秦豪杰

申 请 人：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海恒益光学精密机械有限公司

申请人地址：201800 上海市嘉定区清河路390号

公 开 日：20200103

公 开 号：CN110640618A

代 理 人：张宁展

代理机构：31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：一种抛光模修盘周期的检测装置及检测方法，该装置包括光学检测组件、处理器、水平度测量组件。该装置的光学检测组件使用结构光对抛光模表面形貌进行探测，处理器通过接收的包含抛光模表面形貌信息的探测光，计算处理得到抛光模表面沟槽的深度和宽度信息，从而确定抛光模的修复周期，监测抛光模的维护时间节点。本发明具有结构简单，测量准确，反应迅速，实现对抛光模修盘周期的原位检测，保证抛光模表面的磨削活跃度，提高加工效率和加工质量。

主 权 项：1.一种抛光模修盘周期的检测装置，包括：抛光盘(2)，所述抛光盘(2)为圆盘或环形盘，位于所述抛光盘(2)表面浇注或粘贴的抛光模(21)，所述抛光模(21)表面开有沟槽(22)；位于所述的抛光盘(2)的上方且与地面固定连接的机架(1)；其特征在于，还包括用于对抛光模(21)的表面形貌进行检测的光学检测组件(3)，处理器(4)，以及用于测量光源(31)水平安装误差的水平度测量组件(5)；所述的水平度测量组件(5)包括：激光位移传感器(51)、连接座(52)，以及位于该激光位移传感器(51)正下方的水槽(53)；所述的光学检测组件(3)包括：光源(31)和探测装置(32)，所述的光源(31)通过连接座(52)与机架(1)固定连接，用于向抛光模(21)发射探测光，所述的探测装置(32)与机架(1)固定连接，用于接收经所述的抛光模(21)反射的探测光；所述的处理器(4)分别与所述的激光位移传感器(51)和探测装置(32)相连，并处理得到所述的抛光模(21)的表面形貌，确定所述的抛光模(21)的修盘周期。

关 键 词：抛光模  光学检测组件  处理器 表面形貌信息  水平度测量  表面沟槽  表面形貌 计算处理  加工效率  检测装置  宽度信息  时间节点  原位检测  活跃度 结构光 探测光  磨削  探测  测量  修复  监测  检测  加工  保证  维护  

IPC专利分类号：B24B37/005(20120101);B24B37/34(20120101);B24B49/12(20060101)