文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202011001558.3

申 请 日：20200922

发 明 人：汝长海 朱军辉 翟荣安 王勇

申 请 人：苏州微赛智能科技有限公司

申请人地址：215200 江苏省苏州市吴江区苏州河路18号

公 开 日：20201218

公 开 号：CN112099313A

代 理 人：胡益萍

代理机构：32421 苏州见山知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供了一种光刻胶涂覆系统及光刻胶涂覆方法。该系统包括：注射泵；振动发生器；气泵；喷头，与注射泵、振动发生器和气泵连接；衬底，承载基片；其中，喷头内安装与振动发生器连接的振动件，振动件振动使光刻胶雾化；衬底包括加热板，加热板对基片加热；喷头与基片相对应，将光刻胶雾化分散于基片上。该方法包括：制备光刻胶稀释液，盛于注射泵中；基片安装于衬底上，调节喷头与基片的相对位置；衬底升温对基片加热；启动注射泵、气泵、振动发生器及喷头，喷头向基片喷涂，形成光刻胶薄膜。该系统及方法，其光刻胶薄膜涂覆的厚度易控制、均匀性好，后期易获得清晰完整的光刻图案；光刻胶浪费少，工艺过程易调节、易控制。

主 权 项：1.光刻胶涂覆系统，其特征在于，包括：注射泵，用于进给量光刻胶；振动发生器，用于产生脉冲信号；气泵，用于提供带压气流；喷头，与所述注射泵、振动发生器和气泵连接，用于喷出雾化、分散的光刻胶液滴；衬底，用于承载基片；其中，所述喷头内安装有与所述振动发生器连接的振动件，所述振动件振动使光刻胶雾化；所述衬底包括加热板，所述加热板可对基片进行加热；所述喷头与安装于所述衬底上的基片相对应，将光刻胶雾化分散于所述基片表面上。

关 键 词：喷头  光刻胶 振动发生器  注射泵 衬底  光刻胶薄膜  加热板  振动件  气泵  涂覆  加热  承载基片  工艺过程  光刻图案  基片安装  均匀性好  涂覆系统  雾化分散  泵连接  稀释液 易调节  喷涂  雾化 制备  清晰  

IPC专利分类号：G03F7/16(20060101);B05B16/20(20180101);B05B13/02(20060101);B05B15/68(20180101);B05B17/06(20060101);B05B12/08(20060101)